Suhu rendah Ashing Plasma

Deskripsi suhu rendah ashing plasma Nama Peralatan: Peralatan Peralatan Proses Plasma Model: PR160L Berat mesin: sekitar 500KG Daya terukur: 5KW suplai daya plasma rendah ashing: AC-380V / tiga fase lima kawat Spesifikasi keseluruhan: 1560mm (W) × 1100mm (D) × 1740mm (H) ...

Kirim permintaan Obrolan Sekarang

Deskripsi ashing plasma suhu rendah

Nama Peralatan: Peralatan Pengolahan Plasma

Model Peralatan: PR160L

Berat mesin: sekitar 500kg

Nilai daya: 5KW

suhu rendah ashing power supply plasma: AC-380V / tiga fase lima kawat

Spesifikasi keseluruhan: 1560mm (W) × 1100mm (D) × 1740mm (H)

Spesifikasi ruang vakum: 750mm (W) × 600mm (D) × 450mm (H) aluminium yang diimpor

Spesifikasi pelat elektroda: 738mm (W) × 450mm (D), 10 lapisan

Mode Bracket: struktur braket aluminium kustom

Kapasitas: Menurut spesifikasi produk

Waktu pemrosesan: proses yang berbeda, waktu pemrosesan yang berbeda

Daya generator plasma: impor MKS0-600W, frekuensi radio domestik 13,56MH z, 0-1000W disesuaikan

Sistem Pompa Vakum: Unit Pompa Vakum Mekanik Yang Diimpor

Sistem Pengukuran Vakum: Pengukur Vakum Presisi Tinggi

Vakum bekerja: 20-80 Pa

Tekanan batas pompa vakum: 5,0 × 10-1Pa

Waktu vakum: ≤120S

Waktu vakum melanggar: 30S

Metode pasokan gas: jenis katup solenoid

Rentang pengaturan flowmeter: 0-500Sccm (ml / mnt)

Sistem pemantauan tekanan udara input: 2 tabel dekompresi tekanan udara, 2 meter aliran massa gas

Metode Operasi: secara manual mengambil dan menempatkan benda kerja, mulai kontrol otomatis dengan kunci

Penggunaan ashing plasma suhu rendah:

Kombinasi yang berbeda digunakan untuk proses manufaktur yang berbeda. Mereka digunakan secara eksklusif dalam pra-pembersihan Diebond, Molding pra-pembersihan, pembersihan permukaan Wafer dan proses lainnya di bidang semikonduktor.


Perusahaan ashing plasma suhu rendah:

23.jpg


Paket ashing plasma suhu rendah:

24.jpg


Hot Tags: ashing suhu rendah plasma, Cina, produsen, pabrik, disesuaikan, dibuat di Cina
Produk-produk terkait

Hak Cipta © Kunshan Plaux Electronics Technology Co., Ltd Semua Hak Dilindungi.